【再破“卡脖子”难题!清华团队研发首台12英寸超精密晶圆减薄机正式进入集成电路大生产线】近日,由清华大学机械系路新春教授带领清华大学成果转化项目公司华海清科研发的首台12英寸超精密晶圆减薄机正式出机,发往国内某集成电路龙头企业。该装备是路新春教授团队与华海清科股份有限公司继解决我国集成电路抛光装备“卡脖子”问题后的又一突破性成果,将应用于3D IC制造、先进封装等芯片制造大生产线,满足12英寸晶圆超精密减薄工艺需求。#科研速递# °清华团队研发首台12英寸超精密晶圆减薄机正式...
清华团队研发首台12英寸超精密晶圆减薄机正式进入集成电路大生产线
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