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  • ü 未年审 审核时间 2018-01-29
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#Picosun致力于MEMS制造解决方案# Picosun、Silex和Pegasus联手为MEMS制造提供一站式ALD解决方案

据麦姆斯咨询报道,芬兰Picosun公司、瑞典纯MEMS代工厂Silex和英国Pegasus Chemicals联手为MEMS行业提供ALD(Atomic Layer Depositio,原子层沉积)解决方案和制程。这个联合组织的目的旨在实现其它 ​​​​...展开全文c
PICOSUN™ R系列ALD产品能够沉积高质量薄膜,即使衬底结构十分复杂,如多孔材料、高深宽比的沟槽或者纳米颗粒, 沉积的薄膜均匀性也极其优异。Picosun功能强大、易更换的固、液、气态前驱体输运系统确保可以在硅平面基片,3D复杂基片及所有纳米尺度的特征器件上制备无颗粒的薄膜。PICOSUN™ R系列沉积系 ​​​​...展开全文c